1.저맥동 독자적인 시스템 구동 메커니즘이 벨로즈 동작을 최적으로 제어하여, 맥동이 극히 적은 운전을 실현하고 있습니다.
2.에어 소비량 감소 당사 기존 제품과 비교하여 에어 소비량을 최대 30% 감소했습니다. 비교적 적은 에어압력을 공급하여도 기존 제품과 동등한 수준의 성능을 얻을 수 있습니다.
3.우수한 부하 추종성 위상제어를 통하여, 부하 변동 시 반응성이 향상되었습니다. 특히 Single Wafer 프로세스 등 압력 변동이 빈번히 발생하는 라인에서 높은 부하 추종성에 의해 안정된 토출량과 압력으로 운전이 가능합니다.
4.DAMPER가 필요 없음. DAMPER의 장착이 필요하지 않으므로 장비 내 공간이 절약됩니다. 배관작업 또한 간편해지며 불소수지 커넥터 등의 고가 배관자재 사용이 감소, 장비의 소형, 경량화에 공헌합니다.
FS 시리즈
최대 토출량
55 L/min
최고 공급 에어 압력
0.5 Mpa
최대 에어 소비량
670 NL/min
최대 스트로크수
240 spm
주요 재질
PTFE, PFA
액온 범위
5 ~ 180°C
1.고속 스트로크
펌프 스트로크의 고속화(최대 240 spm)에 의해 소형?경량?저비용화를 실현함과 동시에 맥동의 저감을 꾀하였습니다.
2.오염 발생이 없는 설계
접액부에는 모두 불소 수지를 채용. 펌프 외주부도 불소 수지 코팅을 하는 등 금속 노출이 없는 설계입니다. 또한, 독자 개발된 샤프트 씰(특허)의 채용으로 파티클의 발생이 한층 적어졌습니다.
3.광범위한 액온 범위/고압 토출
액온 범위는 5~180℃, 토출 압력은 최대 0.45 Mpa까지 가능하기 때문에 세정 프로세스 및 CMP 프로세스는 물론 약품 공급 프로세스에서도 사용 가능합니다.
FW/FW-H 시리즈
형식
FW / FW-H
최대 토출량
80 L/min, 40 L/min
최고 공급 에어 압력
0.5 Mpa
최대 에어 소비량
820 NL/min, 480 NL/min
최대 스트로크수
120 spm
주요 재질
PTFE, PFA
액온 범위
10 ~ 100°C, 10 ~ 180°C
1.고압/장수명
두꺼운 벨로즈의 채용으로 최대 0.45 Mpa의 고압 토출을 가능하게 하였습니다. 또한, 벨로즈의 수명은 다이어프레임 타입의 3~4배로 수명이 깁니다. 다운타임을 대폭 저감할 수 있습니다.
2.중온 타입 및 고온 타입
중온 사양(10~100℃)의 FW형은 약품 공급용으로, 고온 사양(10~180℃)의 FW-H형은 세정 장치의 순환 펌프로써 사용할 수 있습니다.
3.센서 구동 방식
펌프 작동은 센서 구동 방식. 또한, 리크 센서를 표준 장비화 하였습니다.
FF/FF-H 시리즈
형식
FF , FF-H
최대 토출량
22 L/min, 40 L/min
최고 공급 에어 압력
0.3 MPa, 0.2 MPa
최대 에어 소비량
180 NL/min, 200 NL/min
최대 스트로크수
120 spm
주요 재질
PTFE, PFA
액온 범위(B형:알루미늄 실린더)
5 ~ 100°C, 20 ~ 180°C
액온 범위(C형: PVC 실린더)
5 ~ 50°C
1.에너지 절약형 설계
공기실의 dead volume을 매우 작게 하여 공기 소비량의 저감을 꾀하였습니다.
2.중온 타입 및 고온 타입
FF형은 중온 사양, FF-H형은 상온부터 고온까지의 약액을 폭넓게 취급할 수 있습니다. 또한, FF-H형은 본체와 벨로즈가 완전히 용접되어 있으므로 히트 사이클에 의해 액이 새지 않습니다.
3.센서 구동 방식
펌프 작동은 센서 구동 방식. 또한, 리크 센서를 표준 장비화 하였습니다.
FA 시리즈
형식
FA-2 , FA-40
최대 토출량
2 L/min, 40 L/min
최고 공급 에어 압력
0.4 MPa
최대 에어 소비량
50 NL/min, 200 NL/min
최대 스트로크수
150 spm, 80 spm
주요 재질
PTFE, PFA
액온 범위
5 ~ 100°C
1.중온 사양의 2타입
FA-2형은 가로형의 소유량 타입, FA-40형은 세로형의 대유량 타입이며, 두 가지 모두 중온액용입니다.
2.두꺼운 벨로즈
FA-40형에는 두꺼운 벨로즈를 채용. 내압성이 뛰어나고, 장기 연속 운전에도 견딜 수 있는 설계입니다.
3.센서 구동 방식
펌프 작동은 센서 구동 방식. 또한, 리크 센서를 표준 장비화 하였습니다.
CFD 시리즈
최대 토출량
8 mL / 스트로크
최고 토출 압력
0.05 Mpa
최대 스트로크수
30 spm
주요 재질
PTFE, PFA
액온 범위
20 ~ 60°C
1.신뢰성이 높은 펌프 구조
접액부 전체 불소수지제의 에어 구동식 벨로즈 펌프입니다. 펌프실은 약액 체류나 에어가 잔류하지 않고, 만일 혼입되어도 확실하게 배출합니다. 염산/플루오르화 수소산은 물론, 증기압이 높은 암모니아수나 기포가 발생하기 쉬운 과산화수소수 등도 고정도로 보충할 수 있습니다. 또한, 전용 컨트롤러(APD형)와 조합시켜 신뢰성 높은 약액 보충 시스템을 구성할 수 있습니다.
2.Ball check 타입 및 Air operated 타입
ball check 타입(흡수 방지 기구 부착)의 CFD-8T-B형과 air operated 타입의 CFD-8T형이 있습니다.
3.전용 컨트롤러 APD-3-B
CFD-8T-B형의 컨트롤러이며, 3대의 펌프를 동시에 제어할 수 있습니다. 또한, 외부 입력에 의한 모터 기능?레디 출력?타임업 알람출력을 표준 장비로 하고 있습니다. ㈜ CFD-8T용의 APD-3형도 있습니다. 자세한 것은 문의 바랍니다.
F 시리즈용 댐퍼 PD-H, PDA-W
형식
PD-15H, 30H, 60H , PDA-20W, 40W
적용 펌프
FS , FW, FW-H, FS
최고 투입 에어 압력
0.3 MPa , 0.5 MPa
맥동 압력폭
0.04 MPa 이내 , 0/06 MPa 이내
주요 재질
PTFE, PFA
액온 범위
5 ~ 100°C(공급 에어압 최대 0.3 MPa 일 때) , 10 ~ 180°C, 101 ~ 180°C(공급 에어압 최대 0.2 MPa 일 때)
1.PD-15H, 30H, 60H
맥동을 억제하여 필터로부터의 파티클 쓰루 및 배관의 진동을 방지합니다. 컴팩트 하며, 저비용의 FS용의 댐퍼입니다. 벨로즈 내의 액 배출이 용이한 구조입니다.
2.PDA-20W, 40W
펌프의 토출 부하가 변해도 최소 맥압에 자동 조압할 수 있는 FW, FW-H, FS용의 오토 댐퍼입니다. 고압 사양이므로 약품 공급용으로도 사용가능합니다. 벨로즈 내의 액 배출이 용이한 구조입니다.
F 시리즈용 컨트롤러&드라이버
1.FDC-1
F 시리즈(전기종)용의 컨트롤러이며, 전공 레귤레이터(옵션)와 접속하는 것에 비해 펌프의 토출량을 일정하게 제어할 수 있기 때문에 토출 부하가 변동해도 안정된 순환/여과를 할 수 있습니다. 유량/스트로크수/토탈 카운터를 모니터링 할 수 있습니다.
2.SC-1, 2, 3
1대로 3대의 펌프를 동시에 제어할 수 있는 고기능 컨트롤러입니다. SC-1은 FF/FF-H/FA(FA-2형은 제외)용, SC-2는 FW/FW-H용, SC-3는 FS용입니다. 유량 일정 제어 기능에 의해 항상 안정된 순환/여과를 할 수 있습니다. 또한, 다양한 모니터링 기능으로 장치의 자동화에 대응합니다.
3.AC-1
저비용 타입의 F 시리즈용 컨트롤러입니다. 펌프에 내장된 근접 스위치의 신호를 받아 전자 밸브를 확실히 작동시킵니다.
4.FD-1, 2, 3
저비용 펌프 드라이버입니다. FD-1은 FF/FF-H/FA용, FD-2는 FW-FW-H용, FD-3은 FS용입니다. 스트로크수 일정 제어 기능에 의해 펌프의 토출측의 부하에 걸리지 않고 스트로크수를 일정하게 유지합니다.
FLP 60-W 시리즈
