PDS 시리즈

형식 PDS-105H(가로형) / PDS-105V(세로형) 최대 토출량 5 mL/shot (최대 토출량 10ml/shot의 PDs-110도 있음) 최고 토출 압력 0.15 MPa 토출 속도 0.1 ~ 4.0 mL/sec 흡입 속도 0.1 ~ 3.0 mL/sec 주요 재질 PFA, PTFE, EPDM 액온 범위 15 ~ 25°C 전원 DC24V

1.에너지 절약형 설계 고 토르크 스테핑 모터를 구동원으로 사용하고 있기 때문에 필터의 막힘이나 점도 변화 등에 의해 토출 부하가 늘어나도 토출량의 감소가 거의 없습니다. 따라서, 도포량의 설정은 필요 최소한이므로 레지스트액의 사용량을 대폭 삭감할 수 있습니다. 2.오염 발생이 없는 설계 펌프부는 내면이 평평하고 미끄러우며, 데드 볼륨이 적은 튜브 프레임 구조. 레지스트액의 체류부가 거의 없고, 파티클의 발생을 방지합니다. 3.다양한 코팅 프로세스에 대응 토출 속도를 1 샷 내로 임의로 변경할 수 있기 때문에 미량?단시간 도포 등, 다양한 레지스트 코팅 프로세스에 대응합니다. 4.펌프 컨트롤러 PDS-210(옵션) 고기능형 컨트롤러. 1대로 3대의 PDS 펌프를 제어할 수 있습니다. 외부 신호에 의해 설정한 시간만큼 펌프의 작동 신호를 출력합니다. ㈜ 옵션은 상기 외에 드라이버/프로그램 가능한 컨트롤러/펄스 컨트롤러/오토 에어 배출 유닛 등이 있습니다. 자세한 것은 문의 바랍니다.

 

SB 시리즈

최대 토출량 5~100 mL/stroke 최고 토출 압력 0.05 - 0.1 MPa 공급 에어 압력 0.15 - 0.5 MPa 최대 스트로크 길이 10 - 40mm 최대 에어 소비량 0.02 - 1.0NL/stroke 접액부 재질 SUS304, PTFE, PFA, SiC, PCTFE

1.고정밀 높은 정밀도 SB 시리즈는 포토레지스트와 같은 화학 약품을 정확하게 분배하여 주입합니다. 숏당 유량이 매우 정교하므로 포토레지스트에 대한 최적의 유량을 보장합니다. Suckback 옵션은 인젝션 노즐에 약품이 방울져 떨어지는 것을 방지합니다. 벨로우즈 내에 유체 잔량이 거의 없기 때문에 약품 침체 방지를 최소화 할 수 있습니다. 씰리스 및 초저속 실린더 디자인으로 포토레지스트를 저속 주입하여 에어 혼입을 방지합니다. 2.내식성이 뛰어난 재질 스테인리스/불소수지 재질 접액부 재질을 스테인레스(SUS304) 타입과 불소수지(PTFE,PFA)타입으로 디자인하여,약액에 의한 부식 및 오염에 매우 강합니다. 이로 인해 고해상도,고순도 포토레지스트 이송이 가능합니다. 3.포지션 가볍고 작은 디자인 가로,세로 두 가지 방향으로 설치가 가능(SB-4K/-5/-6 제외)하여 최적의 시스템 조합이 가능하며,콤팩트한 크기로 협소한 공간에 설치하기 용이합니다. 또한,미세 주입량 조절이 가능한 메카니컬 스토퍼와 실린더 내 정확한 피스톤 운동을 보장하는 포지션 디텍터를 옵션사양으로 선택할 수 있습니다.